Глобални прописи за заштиту животне средине у индустрији полупроводника се стално пооштравају 2026. године, а ограничења на супстанце класе ПФАС постепено покривају потрошни материјал који се користи у фабрикама плочица, укључујући ЦМП јастучиће за полирање. Традиционални врхунски ЦМП јастучићи делимично усвајају компоненте модификоване флуором да би побољшале отпорност на хемијску суспензију и перформансе површинског влажења. Суочени са регулаторним трендом, програмери ЦМП подлога намењених ГаН-у морају да редизајнирају полиуретанске формуле без жртвовања перформанси полирања тврдих ГаН подлога.
ГаН ЦМП процеси често усвајају суспензију за полирање са сложеним пХ окружењем и абразивним честицама нано величине. Без адитива модификованих флуором, полиуретански материјали су изложени већем ризику од хемијске ерозије, блокаде пора и старења површине током рада. Инжењери материјала треба да прилагоде однос полиол-изоцијаната, оптимизују густину попречне везе и побољшају капацитет полиуретанске матрице против хидролизе и бубрења, како би заменили део функција које су првобитно реализоване састојцима који садрже флуор.
Повратне информације из индустрије показују да су многи добављачи јастучића још увек у фази тестирања узорака за ГаН ЦМП производе без ПФАС. Тренутни главни изазови леже у балансирању три кључна индикатора: брзина уклањања материјала, способност контроле кварова и радни век. Неки јастучићи без флуора у раном пробном периоду показују пристојан квалитет површине у краткотрајним лабораторијским тестовима, али брзина хабања се очигледно убрзава под сталним условима рада фабрике, што повећава укупну потрошњу по плочици.
На основу наше платформе за истраживање и развој полиуретана, развили смо модификоване врсте полиуретанског материјала оријентисане ка производњи ГаН ЦМП јастучића без ПФАС. Кроз прилагођавање структуре полимерне кичме, побољшавамо хемијску стабилност без адитива флуора. Низводни партнери могу даље да ускладе процес формирања пора према сопственом дизајну јастучића. Наставићемо да сарађујемо са произвођачима потрошног материјала како бисмо завршили заједничку верификацију и унапредили индустријску примену еколошки прихватљивих полиуретанских решења за планаризацију ГаН плочица следеће генерације.